帶溢流羅茨真空泵(以下簡稱羅茨泵)是通一對(duì)相互作同步反向旋轉(zhuǎn)的＂8″字形轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)抽氣功能的。當(dāng)轉(zhuǎn)子和泵體形成吸氣腔時(shí)，兩個(gè)轉(zhuǎn)子相互之間始終保持密封，從而確保排氣口的氣體不返流到進(jìn)氣口，以此實(shí)現(xiàn)抽氣的功能。轉(zhuǎn)子的反向同步旋轉(zhuǎn)是通一對(duì)安裝在轉(zhuǎn)子軸上的齒輪實(shí)現(xiàn)的。由于在泵腔里沒有摩擦，羅茨泵能以每秒1500~3000轉(zhuǎn)的高速運(yùn)轉(zhuǎn)而無須在泵腔內(nèi)進(jìn)行潤滑。

另外，要保持羅茨泵在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)運(yùn)行，要對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行良好的動(dòng)平衡，高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子和泵體間沒有任何直接的接觸，各運(yùn)動(dòng)部件之間均保持一定的間隙。帶溢流閥羅茨泵在進(jìn)排氣口間設(shè)置了一內(nèi)置溢流閥，其作是：當(dāng)進(jìn)排氣口的壓差達(dá)到一定值時(shí)，流閥就自動(dòng)打開，排氣口的部分氣體通過打開的溢流閥返流到進(jìn)氣口，這就大大降低了高壓差下羅茨泵和前級(jí)真空泵(以下簡稱前級(jí)泵)的運(yùn)行負(fù)荷。同時(shí)因?yàn)榇蜷_的溢流閥有強(qiáng)大的泄流作用，可以確保帶溢流閥羅茨泵和前級(jí)泵可以同時(shí)起動(dòng)而不會(huì)使羅茨泵和前級(jí)泵過載，并可以提高入口壓力下羅茨泵機(jī)組的抽速。