對(duì)于很多企業(yè)來說，羅茨真空泵已經(jīng)成為工作過程中重要的設(shè)備了。羅茨真空泵的性能一直以來都沒有嚴(yán)格區(qū)分，即使在國(guó)外也大都如此，哪一些是泵本身的特征性能，哪一些是除了本身的因素外還在很大程度上取決于前級(jí)泵的性能，也即是羅茨泵機(jī)組的性能。羅茨真空泵廠家介紹一下羅茨真空泵的基礎(chǔ)壓力。

羅茨真空泵

一直以來所有真空泵都有一個(gè)非常重要的性能指標(biāo)———極限壓力，但極限壓力對(duì)真空泵而言其實(shí)并不十分確切，正如ISO21360-1 所指出的那樣：極限壓力是測(cè)試罩內(nèi)漸近的壓力值，它是泵可獲得的最低壓力，但沒有一個(gè)實(shí)際的測(cè)量方法或規(guī)范。也就是說，它是一個(gè)無限的漸近的值，它永遠(yuǎn)也達(dá)不到所謂的極限和最低，是一個(gè)無法測(cè)量的值。ISO21360-1 提出了一個(gè)新概念—基礎(chǔ)壓力，但它并沒有給基礎(chǔ)壓力提出一個(gè)確切的定義，我們認(rèn)為可以這樣定義：基礎(chǔ)壓力———泵按規(guī)定條件工作，在不引入氣體的情況下，標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的壓力，單位為Pa。與極限壓力的定義相比較，基礎(chǔ)壓力的定義中取消了“最低”，也就沒有了極限的含義。這是一個(gè)可以測(cè)量的值，我們認(rèn)為所有真空泵都應(yīng)該將性能指標(biāo)中的“極限壓力”修改為“基礎(chǔ)壓力”，尤其是單獨(dú)使用的、直接排大氣的真空泵，如滑閥泵、旋片泵、液環(huán)泵、活塞泵、渦旋泵、爪式泵、濕式羅茨泵和氣冷式羅茨泵等等�；�礎(chǔ)壓力對(duì)羅茨泵而言，并不是羅茨泵本身的特征性能指標(biāo)，它在很大的程度上取決于前級(jí)泵的類型(基礎(chǔ)壓力)和溫度，因此在標(biāo)注泵的基礎(chǔ)壓力時(shí)，必須同時(shí)注明所配置的前級(jí)泵類型。過去曾一度認(rèn)為，我們羅茨泵的基礎(chǔ)壓力始終不如國(guó)外的好，后來查明是因?yàn)楫?dāng)時(shí)作為前級(jí)泵的旋片泵質(zhì)量不是最好，更換上質(zhì)量好的前級(jí)泵，羅茨泵的基礎(chǔ)壓力就完全達(dá)到了國(guó)外泵的先進(jìn)水平，這就充分說明基礎(chǔ)壓力并不是羅茨泵本身的特征性能。考慮到基礎(chǔ)壓力比較直觀，生產(chǎn)廠商和用戶的習(xí)慣，改變和認(rèn)識(shí)還需要一個(gè)過程，這次羅茨泵新標(biāo)準(zhǔn)中仍將基礎(chǔ)壓力列入主要性能指標(biāo)。

基礎(chǔ)壓力的測(cè)量中，全壓的測(cè)量示值過去規(guī)定為經(jīng)校準(zhǔn)的熱偶真空計(jì)的示值，實(shí)際上國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中早已規(guī)定測(cè)量?jī)x表為薄膜計(jì)，目前我國(guó)薄膜真空計(jì)的使用已經(jīng)普及，而且它的精度遠(yuǎn)高于熱偶真空計(jì)，因此新標(biāo)準(zhǔn)中全壓的測(cè)量示值已規(guī)定為經(jīng)校準(zhǔn)的薄膜真空計(jì)的示值。

薄膜真空計(jì)使用中必須注意一個(gè)問題，因?yàn)楸∧び?jì)從結(jié)構(gòu)上可分為二種型式：相對(duì)式和基準(zhǔn)式。基準(zhǔn)式中有一個(gè)高真空基準(zhǔn)膜盒，薄膜計(jì)的示值實(shí)際上是傳感器的測(cè)量值與基準(zhǔn)膜盒相比較的結(jié)果，基準(zhǔn)膜盒由于放氣和漏氣，它的真空度雖然非常緩慢，但都在不斷地下降，因此薄膜計(jì)的零位應(yīng)該經(jīng)常進(jìn)行校準(zhǔn)，尤其是對(duì)低量程的1 Torr(100 Pa)和0.1 Torr(10 Pa)的傳感器而言，故基準(zhǔn)膜盒應(yīng)根據(jù)具體情況，限期進(jìn)行高真空處理或更換。相對(duì)式是以一臺(tái)高真空泵(如分子泵)替代基準(zhǔn)膜盒，因此薄膜計(jì)的零位不需進(jìn)行校準(zhǔn)，有條件的單位應(yīng)采用這種型式的薄膜真空計(jì)。當(dāng)然薄膜真空計(jì)整計(jì)(包括傳感器、顯示儀和電纜等)必須定期送規(guī)定的計(jì)量部門檢定。