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羅茨真空泵是比較常見的一種泵類設(shè)備,可以說羅茨真空泵對于很多企業(yè)來說,是不可或缺的。羅茨真空泵的性能一直以來都沒有嚴格區(qū)分,即使在國外也大都如此,哪一些是泵本身的特征性能,哪一些是除了本身的因素外還在很大程度上取決于前級泵的性能,也即是羅茨泵機組的性能。羅茨真空泵廠家來介紹一下羅茨真空泵的基礎(chǔ)壓力。
羅茨真空泵
就是說,它是一個無限的漸近的值,它永遠也達不到所謂的極限和最低,是一個無法測量的值。ISO21360-1 提出了一個新概念—基礎(chǔ)壓力,但它并沒有給基礎(chǔ)壓力提出一個確切的定義,我們認為可以這樣定義:基礎(chǔ)壓力———泵按規(guī)定條件工作,在不引入氣體的情況下,標準測試罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的壓力,單位為Pa。與極限壓力的定義相比較,基礎(chǔ)壓力的定義中取消了“最低”,也就沒有了極限的含義。這是一個可以測量的值,我們認為所有真空泵都應(yīng)該將性能指標中的“極限壓力”修改為“基礎(chǔ)壓力”,尤其是單獨使用的、直接排大氣的真空泵,如滑閥泵、旋片泵、液環(huán)泵、活塞泵、渦旋泵、爪式泵、濕式羅茨泵和氣冷式羅茨泵等等。基礎(chǔ)壓力對羅茨泵而言,并不是羅茨泵本身的特征性能指標,它在很大的程度上取決于前級泵的類型和溫度,因此在標注泵的基礎(chǔ)壓力時,必須同時注明所配置的前級泵類型。過去曾一度認為,我們羅茨泵的基礎(chǔ)壓力始終不如國外的好,后來查明是因為當時作為前級泵的旋片泵質(zhì)量不是最好,更換上質(zhì)量好的前級泵,羅茨泵的基礎(chǔ)壓力就完全達到了國外泵的先進水平,這就充分說明基礎(chǔ)壓力并不是羅茨泵本身的特征性能?紤]到基礎(chǔ)壓力比較直觀,生產(chǎn)廠商和用戶的習(xí)慣,改變和認識還需要一個過程,這次羅茨泵新標準中仍將基礎(chǔ)壓力列入主要性能指標。
基礎(chǔ)壓力的測量中,全壓的測量示值過去規(guī)定為經(jīng)校準的熱偶真空計的示值,實際上國際標準中早已規(guī)定測量儀表為薄膜計,目前我國薄膜真空計的使用已經(jīng)普及,而且它的精度遠高于熱偶真空計,因此新標準中全壓的測量示值已規(guī)定為經(jīng)校準的薄膜真空計的示值。
薄膜真空計使用中必須注意一個問題,因為薄膜計從結(jié)構(gòu)上可分為二種型式:相對式和基準式。基準式中有一個高真空基準膜盒,薄膜計的示值實際上是傳感器的測量值與基準膜盒相比較的結(jié)果,基準膜盒由于放氣和漏氣,它的真空度雖然非常緩慢,但都在不斷地下降,因此薄膜計的零位應(yīng)該經(jīng)常進行校準,尤其是對低量程的1 Torr和0.1 Torr(的傳感器而言,故基準膜盒應(yīng)根據(jù)具體情況,限期進行高真空處理或更換。相對式是以一臺高真空泵替代基準膜盒,因此薄膜計的零位不需進行校準,有條件的單位應(yīng)采用這種型式的薄膜真空計。當然薄膜真空計整計必須定期送規(guī)定的計量部門檢定。
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