羅茨真空泵是比較常見的一種真空泵設(shè)備，在很多領(lǐng)域中都得到了廣泛的應(yīng)用。因其優(yōu)秀的性能，備受廣大客戶的喜愛。羅茨真空泵是指泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸的一種變?nèi)菡婵毡谩?a href="http://wuxingdm.com/" target="_blank">羅茨真空泵品牌下面說說羅茨真空泵基礎(chǔ)壓力。

羅茨真空泵

一直以來所有真空泵都有一個非常重要的性能指標(biāo)———極限壓力，但極限壓力對真空泵而言其實(shí)并不十分確切，正如ISO21360-1 所指出的那樣：極限壓力是測試罩內(nèi)漸近的壓力值，它是泵可獲得的最低壓力，但沒有一個實(shí)際的測量方法或規(guī)范。也就是說，它是一個無限的漸近的值，它永遠(yuǎn)也達(dá)不到所謂的極限和最低，是一個無法測量的值。ISO21360-1 提出了一個新概念—基礎(chǔ)壓力，但它并沒有給基礎(chǔ)壓力提出一個確切的定義，我們認(rèn)為可以這樣定義：基礎(chǔ)壓力———泵按規(guī)定條件工作，在不引入氣體的情況下，標(biāo)準(zhǔn)測試罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的壓力，單位為Pa。與極限壓力的定義相比較，基礎(chǔ)壓力的定義中取消了“最低”，也就沒有了極限的含義。這是一個可以測量的值，我們認(rèn)為所有真空泵都應(yīng)該將性能指標(biāo)中的“極限壓力”修改為“基礎(chǔ)壓力”，尤其是單獨(dú)使用的、直接排大氣的真空泵，如滑閥泵、旋片泵、液環(huán)泵、活塞泵、渦旋泵、爪式泵、濕式羅茨泵和氣冷式羅茨泵等等�；�礎(chǔ)壓力對羅茨泵而言，并不是羅茨泵本身的特征性能指標(biāo)，它在很大的程度上取決于前級泵的類型(基礎(chǔ)壓力)和溫度，因此在標(biāo)注泵的基礎(chǔ)壓力時，必須同時注明所配置的前級泵類型。過去曾一度認(rèn)為，我們羅茨泵的基礎(chǔ)壓力始終不如國外的好，后來查明是因?yàn)楫?dāng)時作為前級泵的旋片泵質(zhì)量不是最好，更換上質(zhì)量好的前級泵，羅茨泵的基礎(chǔ)壓力就完全達(dá)到了國外泵的先進(jìn)水平，這就充分說明基礎(chǔ)壓力并不是羅茨泵本身的特征性能�？紤]到基礎(chǔ)壓力比較直觀，生產(chǎn)廠商和用戶的習(xí)慣，改變和認(rèn)識還需要一個過程，這次羅茨泵新標(biāo)準(zhǔn)中仍將基礎(chǔ)壓力列入主要性能指標(biāo)。

基礎(chǔ)壓力的測量中，全壓的測量示值過去規(guī)定為經(jīng)校準(zhǔn)的熱偶真空計(jì)的示值，實(shí)際上國際標(biāo)準(zhǔn)中早已規(guī)定測量儀表為薄膜計(jì)，目前我國薄膜真空計(jì)的使用已經(jīng)普及，而且它的精度遠(yuǎn)高于熱偶真空計(jì)，因此新標(biāo)準(zhǔn)中全壓的測量示值已規(guī)定為經(jīng)校準(zhǔn)的薄膜真空計(jì)的示值。

薄膜真空計(jì)使用中必須注意一個問題，因?yàn)楸∧び?jì)從結(jié)構(gòu)上可分為二種型式：相對式和基準(zhǔn)式�；鶞�(zhǔn)式中有一個高真空基準(zhǔn)膜盒，薄膜計(jì)的示值實(shí)際上是傳感器的測量值與基準(zhǔn)膜盒相比較的結(jié)果，基準(zhǔn)膜盒由于放氣和漏氣，它的真空度雖然非常緩慢，但都在不斷地下降，因此薄膜計(jì)的零位應(yīng)該經(jīng)常進(jìn)行校準(zhǔn)，尤其是對低量程的1 Torr(100 Pa)和0.1 Torr(10 Pa)的傳感器而言，故基準(zhǔn)膜盒應(yīng)根據(jù)具體情況，限期進(jìn)行高真空處理或更換。相對式是以一臺高真空泵(如分子泵)替代基準(zhǔn)膜盒，因此薄膜計(jì)的零位不需進(jìn)行校準(zhǔn)，有條件的單位應(yīng)采用這種型式的薄膜真空計(jì)。當(dāng)然薄膜真空計(jì)整計(jì)(包括傳感器、顯示儀和電纜等)必須定期送規(guī)定的計(jì)量部門檢定。