羅茨真空機組在一般情況下，選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是因為它可以抽除很多的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機械真空泵掃除可凝性蒸汽才能不行，或被處理的介質(zhì)會使真空泵油惡化而影響功能，或者是真空體系不答應(yīng)油污染的時分更為顯著。羅茨泵水環(huán)泵真空機組可廣泛應(yīng)用于化工、制藥的各類真空處理；食品行業(yè)提高干燥、高空模仿實驗等的抽真空體系中。這類成套真空機組，大致有如下幾種類型。

羅茨泵水環(huán)泵：機組中水環(huán)泵的作用是形成羅茨泵所需的準(zhǔn)備真空，因此要求該水環(huán)泵可以到達(dá)的入口壓力盡量要低（真空度盡可能高），使羅茨真空泵的排出壓力盡可能低，確保羅茨真空泵的運行更牢靠，機組的抽氣功率也更高。

般情況下，單級水環(huán)泵極限真空度在30mbar左右，而羅茨泵要求的預(yù)真空又較高（一般羅茨泵的答應(yīng)壓差較�。�，特別是大標(biāo)準(zhǔn)的羅茨泵的預(yù)真空要求很高，故實際上單級水環(huán)泵只能作為小標(biāo)準(zhǔn)羅茨泵的前級泵。
一臺一般羅茨泵的極限真空度是較低的，特別是當(dāng)它與水環(huán)泵組合運行時，使用范圍受到限制，整個機組的極限真空度可能不能滿足某些工藝要求，但若用兩臺羅茨泵與水環(huán)泵串聯(lián)組合成三級機組，就能大大提高機組的極限真空度。